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麵包要烤得好吃，火候、時間、麵粉配方、發酵過程都很重要。磊晶製程如同烤麵包，過程中內部溫度、壓力、轉速等都是影響良率變數。但磊晶機台密閉像黑盒子，實驗成品出爐才知道結果好壞，取得最佳化參數得花一周。工研院機械所研發副組長王慶鈞博士化身磊晶製程吳寶春，秉持「To see is to believe（眼見為憑）」的科學家精神，打開黑盒子與工研院團隊開發出「可視化磊晶製程優化系統（CyberEpi）」，二小時就能找到最佳化參數，且分析準確度提升至95%，可大幅降低成本，提升競爭力，獲今年全球百大科技研發獎（2017 R&D 100 Awards）。 #div-gpt-ad-1503996040247-0 iframe { margin:auto; display: block; }

#div-gpt-ad-1503996040247-0 > div { margin: auto; display: block !important; }磊晶是半導體、光電、太陽能產業重要製程，過去30多年來，只能以電腦數據實驗得到最佳化參數，王慶鈞造訪廠商時，最常聽到對方反應「找最佳化參數真的太花時間了，這樣很沒競爭力！」現行實驗一組參數要八小時左右，取得最佳化參數費時一周以上，產線無法靈活因應需求做調整，廠商的心聲激發王慶鈞挑戰的意圖。中研院前院長李遠哲獲得諾貝爾化學獎的技術給了王慶鈞啟發。王慶鈞表示，李遠哲設計出「交叉分子束實驗裝置」，讓研究人員可以直接觀察化學反應的分子碰撞，這樣的「可視化載台」概念，讓他靈光一現，「何不打開黑盒子，讓磊晶參數驗證過程也變得可以直接觀察。」在經濟部技術處支持下，王慶鈞和工研院團隊開發出「可視化磊晶製程優化系統」，將磊晶製程的實驗參數與模擬分析結果導入資料庫，再以氣體噴灑頭噴出氣體，並由雷射動態拍攝，藉由讓研發人員能「看」到實驗產生的熱流層和氣流層變化，透過直接觀察驗證，找到最佳化製程區間並校正數值模擬分析，與實驗結果交叉驗證，進而取得準確的資料庫，建構出CyberEpi系統。CyebrEpi系統適用設備廠商與磊晶廠商。過去磊晶廠商若想開發新產品，往往只能購買高價的整機新機台，但使用CyberEpi後可開發出新的關鍵設備模組，讓磊晶廠商只要替換原有機台零組件，就可製造新產品，可使機台產能成長二倍，且成本只需新機台十分之一左右；設備廠商也可透過CyberEpi，縮短模組開發時間，準確製造所需機台規格，可有效降低製造成本，快速導入市場。磊晶廠商使用CyberEpi系統後，能將取得磊晶製程最佳化參數時間，由一周縮短為兩小時；參數分析準確度由92％提升為95％。預期將新產品上市時間從三個月縮短為一個月，進而讓製造成本降低60%~70%，可大幅增加產品競爭力。王慶鈞強調，此系統後續將導入人工智慧，讓系統更進化。除可協助LED業者技術升級，穩固台灣在全球LED市場的領導地位。還能應用於其他產業的磊晶與先進鍍膜製程，包括半導體、下世代顯示器、太陽能光電、無線通訊，以及高效率功率電晶體產品等，提升台灣產業競爭力。

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